低頻玻璃管標(biāo)簽在半導(dǎo)體Wafer生產(chǎn)中的應(yīng)用

Wafer即晶圓，是制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片。晶圓盒，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要起到放置和輸 送Wafer晶圓的作用，能夠簡化運(yùn)輸和降低被污染的風(fēng)險(xiǎn)。而RFID技術(shù)在半導(dǎo)體Wafer晶圓盒的  應(yīng)用，能夠提升半導(dǎo)體制造業(yè)的工作效率，還能減少工作人員對(duì)Wafer晶圓的直接接觸，極大地 降低了Wafer晶圓在制作或運(yùn)輸時(shí)被污染的風(fēng)險(xiǎn)。

RFID技術(shù)在Wafer晶圓盒上的應(yīng)用主要體現(xiàn)在標(biāo)簽植入在晶圓盒上，RFID半導(dǎo)體讀寫器則根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景安裝  在相應(yīng)的工位節(jié)點(diǎn)上，用于讀取Wafer晶圓盒上的標(biāo)簽獲 取Wafer晶圓的信息，便于有序地安排進(jìn)行下一步的流程操作。

Wafer晶圓存儲(chǔ)柜

將RFID半導(dǎo)體讀寫器嵌入到存儲(chǔ)柜的承載平臺(tái)內(nèi)，當(dāng)晶圓盒放入存儲(chǔ)柜時(shí)， RFID半導(dǎo)體讀寫器識(shí)別玻璃管標(biāo)簽，獲取晶圓的信息，確認(rèn)晶圓盒是否存 放正確，同時(shí)記錄下晶圓的儲(chǔ)存位置，在必要時(shí)可立即找到所存儲(chǔ)的晶圓。

半導(dǎo)體電子貨架

將RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在電子貨架識(shí)別位的后方。當(dāng)晶圓盒被放置或離開 識(shí)別位時(shí)， RFID半導(dǎo)體讀寫器通過識(shí)別感應(yīng)晶圓盒上的標(biāo)簽來判斷晶圓盒 是否在識(shí)別位上，并記錄下晶圓盒放置/離開時(shí)的時(shí)間。晶圓盒在識(shí)別位時(shí)， RFID半導(dǎo)體讀寫器將識(shí)別感應(yīng)到的晶圓盒信息（如晶圓盒的尺寸、種類等） 展示在電子貨架前端的顯示屏上。

半導(dǎo)體花籃運(yùn)輸

RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在運(yùn)輸晶圓盒的AGV小車的承載平臺(tái)下方，用于識(shí)別并上傳 AGV小車上的晶圓盒信息。管理系統(tǒng)根據(jù)獲取到的晶圓信息給AGV小車下達(dá)相應(yīng)的  指令，如入庫存放或移庫加工等。

半導(dǎo)體硅晶片清洗

當(dāng)晶圓盒被送到清洗工位時(shí)，部署在工位上方的RFID半導(dǎo)體讀寫器會(huì)通過識(shí)別讀取標(biāo)簽的信息來獲取晶圓盒 內(nèi)的晶圓種類、尺寸大小等信息，并記錄下此次晶圓硅片的種類、尺寸大小、清 洗的時(shí)間等，預(yù)防出現(xiàn)工序混淆的情況。

半導(dǎo)體天車運(yùn)輸

當(dāng)天車搬運(yùn)Wafer晶圓盒時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫器接收來自載碼體標(biāo)簽的相關(guān)信息 ,確保所搬運(yùn)的Wafer晶圓盒是準(zhǔn)確。在行駛到相應(yīng)的存儲(chǔ)/放置位置時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫器再次識(shí)別目的地的標(biāo)簽信息，并將符合的信息的Wafer晶圓盒放到相應(yīng)  的位置，同時(shí)將拿取到放置時(shí)所有的信息上傳到管理系統(tǒng)處， 若是產(chǎn)品有瑕疵等  不良品的出現(xiàn)，可依據(jù)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行產(chǎn)品生產(chǎn)運(yùn)輸過程的溯源，幫助快速定位到  問題點(diǎn)上。